Pompa Vakum adalah sebuah alat yang berfungsi untuk mempercepat kondensasi dan menciptakan keadaan vakum pada kondensor dengan mengeluarkan gas-gas atau uap yang tidak terkondensasi setelah melakukan proses kerja memutar turbin.
Berdasarkan prinsip kerjanya, pompa vakum diklasifikasikan menjadi 3, yaitu:
1. Positive Displacement
Positive Displacement adalah pompa vakum yang mengekspansi volume secara terus menerus, mengalirkan uap melalui pompa, men-sealing volume ruang dan dan membuang gas ke atsmosfir dengan menggunakan cara mekanis.
Positive Displacement memiliki prinsip kerja mengekspansi volume ruang sehingga terjadi penurunan tekanan. Adanya sealing pada pompa ini berfungsi untuk mencegah gas atau udara masuk ke dalam ruang tersebut yan dapat menyebabkan kavitasi pada ruang tersebut sehingga menyebabkan ketidakoptimalan fungsi sistem.
Selanjutnya pompa melakukan gerakan buang sebagai jalan uap kering yang sudah berubah menjadi uap basah masuk ke dalam kondenser. Siklus tersebut berlangsung secara terus menerus sehingga terbentuk vakum dalam ruang tersebut.
Tipe pompa vakum yang masuk ke dalam bentuk Postive Displacement adalah sebagai berikut:
- Pompa rotary vane
- Pompa diafragma
- Pompa piston
- Pompa wankel
- Pompa Lobe
2. Momentum Transfer Pump
Momentum Transfer Pump adalah pompa yang menggunakan sistim jet fluida kecepatan tinggi untuk menghisap gas dari sebuah ruang tertutup sehingga menghasilkan tekanan vakum yang sangat tinggi.
Sesuai dengan hukum dinamika fluida, molekul fluida yang berada pada tekanan atmosfer akan saling mendorong dengan molekul fluida di dekatnya dan menciptakan aliran fluida.
Namun pada saat jarak antara molekul fluida sangat jauh, maka molekul tersebut cenderung berhubungan dengan dinding ruanganya daripada dengan molekul sesamanya. Fenomena inilah yang menjadi dasar penggunaan Momentum Transfer Pump dimana semakin vakum tekanan dalam ruang, akan semakin tinggi efisiensi pompa.
Yang termasuk dalam Momentum Transfer Pump adalah Pompa difusi dan Pompa Turbomolecular
3. Entrapment Pump
Entrapment Pump adalah pompa yang menggunakan zat padat atau zat absorber tertentu untuk mengikat gas yang ada di dalam ruangan tertutup. Pompa jenis ini menggunakan metode-metode kimia ataupun fisik untuk mengikat fluda gas dengan tujuan menghasilkan tekanan vakum.
Ada berbagai jenis Entrapment Pump, yaitu:
- Cryopump
- Pompa Kimia
- Pompa Ionasi.